English: The throughput of early and later generation immersion tools is plotted as a function of dose, assuming a fixed slit width. Higher power enables higher throughput by allowing higher stage speeds. References: M. A. van den Brink et al., Proc. SPIE 2726, 734 (1996); NXT:1980Di; I. Bouchoms et al., Proc. SPIE 8326, 83260L (2012); J. de Klerk et al., Proc. SPIE 6520, 65201Y (2007); Cymer 2008 Annual Report; Cymer 120W ArFi source
S'autoritza la còpia, la distribució i la modificació d'aquest document sota els termes de la llicència de documentació lliure GNU versió 1.2 o qualsevol altra versió posterior que publiqui la Free Software Foundation; sense seccions invariants, ni textos de portada, ni textos de contraportada. S'inclou una còpia d'aquesta llicència en la secció titulada GNU Free Documentation License.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue
compartir – copiar, distribuir i comunicar públicament l'obra
adaptar – fer-ne obres derivades
Amb les condicions següents:
reconeixement – Heu de donar la informació adequada sobre l'autor, proporcionar un enllaç a la llicència i indicar si s'han realitzat canvis. Podeu fer-ho amb qualsevol mitjà raonable, però de cap manera no suggereixi que l'autor us dóna suport o aprova l'ús que en feu.
compartir igual – Si modifiqueu, transformeu, o generareu amb el material, haureu de distribuir les vostres contribucions sota una llicència similar o una de compatible com l'original
Uploading a self-made file using [[Wikipedia:File_Upload_Wizard|File Upload Wizard]]
Aquest fitxer no està categoritzat.
Si us plau, ajudeu a millorar aquest fitxer afegint una o més categories, així estarà associat amb fitxers relacionats (vegeu com), i serà més fàcil trobar-lo.
Us agraïm que aviseu a l'usuari amb
{{subst:Please link images|File:Immersion tool throughput.png}} ~~~~
Llegendes
Afegeix una explicació d'una línia del que representa aquest fitxer
Aquest fitxer conté informació addicional, probablement afegida per la càmera digital o l'escàner utilitzat per a crear-lo o digitalitzar-lo. Si s'ha modificat posteriorment, alguns detalls poden no reflectir les dades reals del fitxer modificat.