An aligner is a major piece of equipment used in semiconductor device fabrication. Trending from upper left to lower right is the wafer-track system of a photolithographic cell that uses the "i-line" from a mercury arc lamp (wavelength 365 nm) to expose photoresist deposited on siliconwafers. Wafers are robotically loaded from a carrier at the left hand of the system and progressively are coated with photoresist, exposed to ultraviolet light, and "developed". The development step involves using a solvent to remove either the exposed (positive photoresist) or unexposed (negative photoresist) portions of the film. In the foreground is a black plastic box containing silicon wafers with a diameter of 6" (150 mm).
Photo taken at HP Labs by Alison Chaiken using a Nikon 995 camera. Note that the light in the room really is yellow!
Llicència
S'autoritza la còpia, la distribució i la modificació d'aquest document sota els termes de la llicència de documentació lliure GNU versió 1.2 o qualsevol altra versió posterior que publiqui la Free Software Foundation; sense seccions invariants, ni textos de portada, ni textos de contraportada. S'inclou una còpia d'aquesta llicència en la secció titulada GNU Free Documentation License.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue
compartir – copiar, distribuir i comunicar públicament l'obra
adaptar – fer-ne obres derivades
Amb les condicions següents:
reconeixement – Heu de donar la informació adequada sobre l'autor, proporcionar un enllaç a la llicència i indicar si s'han realitzat canvis. Podeu fer-ho amb qualsevol mitjà raonable, però de cap manera no suggereixi que l'autor us dóna suport o aprova l'ús que en feu.
compartir igual – Si modifiqueu, transformeu, o generareu amb el material, haureu de distribuir les vostres contribucions sota una llicència similar o una de compatible com l'original
Aquest avís de llicència s'ha afegit a aquest fitxer d'acord amb l'actualització de la llicència GFDL.http://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0/CC BY-SA 3.0Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0truetrue
Llegendes
Afegeix una explicació d'una línia del que representa aquest fitxer
Aquest fitxer conté informació addicional, probablement afegida per la càmera digital o l'escàner utilitzat per a crear-lo o digitalitzar-lo. Si s'ha modificat posteriorment, alguns detalls poden no reflectir les dades reals del fitxer modificat.